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爱德华真空泵是如何分(fēn)类的？

发表时间:2020-09-14 10:01 / 次浏览

　　随着真空应用(yòng)技术在生产和科(kē)學(xué)研究领域中对其应用(yòng)压强范围的要求越来越宽，大多(duō)需要由几种真空泵组成真空抽气系统共同抽气后才能(néng)满足生产和科(kē)學(xué)研究过程的要求，因此选用(yòng)不同类型爱德华真空泵组成的真空抽气机组进行抽气的情况较多(duō)。為(wèi)了方便用(yòng)户，将这些真空泵按其工作原理(lǐ)或其结构特点分(fēn)為(wèi)两种类型，即气體(tǐ)传输泵和气體(tǐ)捕集泵。现对这两种类型泵进行详细介绍：

　　一、气體(tǐ)传输泵

　　气體(tǐ)传输泵是一种能(néng)使气體(tǐ)不断的吸入和排出，借以达到抽气目的的爱德华真空泵，这种泵基本上有(yǒu)两种类型：

　　1、变容真空泵　　　变容真空泵是利用(yòng)泵腔容积的周期性变化来完成吸气和排气过程的一种真空泵。气體(tǐ)在排出前被压缩。这种泵分(fēn)為(wèi)往复式及旋转式两种：

　　（1）往复真空泵：是利用(yòng)泵腔内活塞做往复运动，将气體(tǐ)吸入、压缩并排出。因此，又(yòu)称為(wèi)活塞式真空泵。

　　（2）旋转真空泵：是利用(yòng)泵腔内活塞做旋转运动，将气體(tǐ)吸入，压缩并排出。旋转真空泵又(yòu)有(yǒu)如下几种型式：

　　①油封式真空泵：它是利用(yòng)油类密封各运动部件之间的间隙，减少有(yǒu)害空间的一种旋转变容真空泵。这种泵通常带有(yǒu)气镇装置，故又(yòu)称气镇式真空泵。按其结构特点分(fēn)為(wèi)如下五种型式。

　　a)旋片式真空泵：转子以一定的偏心距装在泵壳内并与泵壳内表面的固定面靠近，在转子槽内装有(yǒu)两个（或两个以上）旋片，当转子旋转时旋片能(néng)沿其径向槽往复滑动且与泵壳内壁始终接触，此旋片随转子一起旋转，可(kě)将泵腔分(fēn)成几个可(kě)变容积。

　　b）滑阀式真空泵：在偏心转子外部装有(yǒu)一个滑阀，转子旋转带动滑阀沿泵壳内壁滑动和滚动，滑阀上部的滑阀杆能(néng)在可(kě)摆动的滑阀导轨中滑动，而把泵腔分(fēn)成两个可(kě)变容积。

　　c）定片式真空泵：在泵壳内装有(yǒu)一个与泵内表面靠近的偏心转子，泵壳上装有(yǒu)一个始终与转子表面接触的径向滑片，当转子旋转时，滑片能(néng)上、下滑动将泵腔分(fēn)成两个可(kě)变容积。

　　d）余摆線(xiàn)式真空泵：在泵腔内偏心装有(yǒu)一个型線(xiàn)為(wèi)余摆線(xiàn)的转子，它沿泵腔内壁转动并将泵腔分(fēn)成两个可(kě)变容积。

　　e）多(duō)室旋片式真空泵：在一个泵壳内并联装有(yǒu)由同一个電(diàn)动机驱动的多(duō)个独立工作室的旋片真空泵。

　　②干式真空泵：它是一种不用(yòng)油类（或液體(tǐ)）密封的变容真空泵。

　　③液环式真空泵：带有(yǒu)多(duō)叶片的转子偏心装在泵壳内，当它旋转时，把液體(tǐ)（通常為(wèi)水或油）抛向泵壳形成泵壳同心的液环，液环同转子叶片形成了容积周期变化的几个小(xiǎo)容积，故亦称旋转变容真空泵。

　　④罗茨真空泵：泵内装有(yǒu)两个相反方向同步旋转的双叶形或多(duō)叶形的转子，转子间、转子同泵壳内壁之间均保持一定的间隙。它属于旋转变真空泵。机械增压泵即為(wèi)这种型式的真空泵。

　　2、动量传输泵

　　这种泵是依靠高速旋转的叶片或高速射流，把动量传输给气體(tǐ)或气體(tǐ)分(fēn)子，使气體(tǐ)连续不断地从泵的入口传输到出口。具體(tǐ)可(kě)分(fēn)為(wèi)下述几种类型。

　　（1）分(fēn)子真空泵：它是利用(yòng)高速旋转的转子把能(néng)量传输给气體(tǐ)分(fēn)子，使之压缩、排气的一种真空泵。它有(yǒu)如下几种型式：

　　①牵引分(fēn)子泵：气體(tǐ)分(fēn)子与高速运动的转子相碰撞而获得动量，被送到出口，因此，是一种动量传输泵。

　　②涡轮分(fēn)子泵：泵内装有(yǒu)带槽的圆盘或带叶片的转子，它在定子圆盘（或定片）间旋转。转子圆周的線(xiàn)速度很(hěn)高。这种泵通常在分(fēn)子流状态下工作。

　　③复合分(fēn)子泵：它是由涡轮式和牵引式两种分(fēn)子泵串联组合起来的一种复合式分(fēn)子真空泵。

　　（2）喷射真空泵：它是利用(yòng)文(wén)丘里（Venturi）效应的压力降产生的高速射流把气體(tǐ)输送到出口的一种动量传输泵，适于在粘滞流和过渡流状态下工作。这种泵又(yòu)可(kě)详细地分(fēn)成以下几种：

　　①液體(tǐ)喷射真空泵：以液體(tǐ)（通常為(wèi)水）為(wèi)工作介质的喷射真空泵。

　　②气體(tǐ)喷射真空泵：以非可(kě)凝性气體(tǐ)作為(wèi)工作介质的喷射真空泵。

　　③蒸气喷射真空泵：以蒸气（水、油或汞等蒸气）作為(wèi)工作介质的喷射真空泵。　　　　　　（3）扩散泵：以低压高速蒸气流（油或汞等蒸气）作為(wèi)工作介质的喷射真空泵。气體(tǐ)分(fēn)子扩散到蒸气射流中，被送到出口。在射流中气體(tǐ)分(fēn)子密度始终是很(hěn)低的，这种泵适于在分(fēn)子流状态下工作。可(kě)分(fēn)為(wèi)：

　　①自净化扩散泵：泵液中易挥发的杂质经专门的机械输送到出口而不回到锅炉中的一种油扩散泵。

　　②分(fēn)馏式扩散泵：这种泵具有(yǒu)分(fēn)馏装置，使蒸气压强较低的工作液蒸气进入高真空工作的喷嘴，而蒸气压强较高的工作液蒸气进入低真空工作的喷嘴，它是一种多(duō)级油扩散泵。

　　（4）扩散喷射泵：它是一种有(yǒu)扩散泵特性的单级或多(duō)级喷嘴与具有(yǒu)喷射真空泵特性的单级或多(duō)级喷嘴串联组成的一种动量传输泵。油增压泵即属于这种型式。

　　（5）离子传输泵：它是将被電(diàn)离的气體(tǐ)在電(diàn)磁场或電(diàn)场的作用(yòng)下，输送到出口的一种动量传输泵。

　　二、气體(tǐ)捕集泵

　　这种泵是一种使气體(tǐ)分(fēn)子被吸附或凝结在泵的内表面上，从而减小(xiǎo)了容器内的气體(tǐ)分(fēn)子数目而达到抽气目的的真空泵，有(yǒu)以下几种型式。

　　1、吸附泵

　　它主要依靠具有(yǒu)大表面的吸附剂（如多(duō)孔物(wù)质）的物(wù)理(lǐ)吸附作用(yòng)来抽气的一种捕集式真空泵。

　　2、吸气剂泵

　　它是一种利用(yòng)吸气剂以化學(xué)结合方式捕获气體(tǐ)的真空泵。吸气剂通常是以块状或沉积新(xīn)鲜薄膜形式存在的金属或合金。升华泵即属于这种型式。

　　3、吸气剂离子泵

　　它是使被電(diàn)离的气體(tǐ)通过電(diàn)磁场或電(diàn)场的作用(yòng)吸附在有(yǒu)吸气材料的表面上，以达到抽气的目的。它有(yǒu)如下几种型式。　　　 ⑴蒸发离子泵：泵内被電(diàn)离的气體(tǐ)吸附在以间断或连续方式升华（或蒸发）而覆在泵内壁的吸气材料上，以实现抽气的一种真空泵。　　　 ⑵溅射离子泵：泵内被電(diàn)离的气體(tǐ)吸附在由阴极连续溅射散出来的吸气材料上，以实现抽气目的的一种真空泵。

　　4、低温泵

　　利用(yòng)低温表面捕集气體(tǐ)的真空泵

　　真空泵的性能(néng)参数及使用(yòng)范围

　　真空泵的性能(néng)参数

　　（1）真空泵的极限压强

　　泵的极限压强单位是Pa，是指泵在入口处装有(yǒu)标准试验罩并按规定条件工作，在不引入气體(tǐ)正常工作的情况下，趋向稳定的较低压强。

　　（2）真空泵的抽气速率

　　泵的抽气速率单位是m3/s或l/s，是指泵装有(yǒu)标准试验罩，并按规定条件工作时，从试验罩流过的气體(tǐ)流量与在试验罩指定位置测得的平衡压强之比。简称泵的抽速。

　　（3）真空泵的抽气量

　　真空泵的抽气量单位是Pa m3/s或Pa l/s。是指泵入口的气體(tǐ)流量。

　　（4）真空泵的起动压强

　　真空泵的起动压强单位為(wèi)Pa，它是指泵无损坏起动并有(yǒu)抽气作用(yòng)时的压强。