真空泵选型需要注意哪些方面

发表时间:2020-05-15 17:04 / 次浏览

1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：真空镀膜要求1×10-5mmHg的真空度，选用(yòng)的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。

2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有(yǒu)一定的工作压强范围，如：扩散泵為(wèi)10-3~10-7mmHg，在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化，其稳定的工作压强范围為(wèi)5×10-4~5×10-6mmHg。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内，而不能(néng)让它在10-8mmHg下長(cháng)期工作。又(yòu)如钛升华泵可(kě)以在10-2mmHg下工作，但其工作压强应小(xiǎo)于1×10-5mmHg為(wèi)好。

3、真空泵在其工作压强下，应能(néng)排走真空设备工艺过程中产生的全部气體(tǐ)量。

4、正确地组合真空泵。由于真空泵有(yǒu)选择性抽气，因而，有(yǒu)时选用(yòng)一种泵不能(néng)满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能(néng)满足抽气要求。如钛升华泵对氢有(yǒu)很(hěn)高的抽速，但不能(néng)抽氦，而三极型溅射离子泵，(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对氩有(yǒu)一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有(yǒu)的真空泵不能(néng)在大气压下工作，需要预真空;有(yǒu)的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用(yòng)。

5、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分(fēn)子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可(kě)以选择有(yǒu)油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能(néng)达到清洁真空要求。

6、了解被抽气體(tǐ)成分(fēn)，气體(tǐ)中含不含可(kě)凝蒸气，有(yǒu)无颗粒灰尘，有(yǒu)无腐蚀性等。选择真空泵时，需要知道气體(tǐ)成分(fēn)，针对被抽气體(tǐ)选择相应的泵。如果气體(tǐ)中含有(yǒu)蒸气、颗粒、及腐蚀性气體(tǐ)，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。

7、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有(yǒu)污染，可(kě)以选无油真空泵，或者把油蒸气排到室外。

8、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有(yǒu)无影响。若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。

9、真空泵的价格、运转及维修费用(yòng)。

水环式真空泵的选择

一、泵类型的确定

泵的类型主要由工作所需的气量、真空度或排气压力而定。

泵工作时，需要注意以下两个方面：

1.尽可(kě)能(néng)要求在高效區(qū)内，也就是在临界真空度或临界排气压力的區(qū)域内运行。

2.应避免在最大真空度或最大排气压力附近运行。在此區(qū)域内运行，不仅效率极低，而且工作很(hěn)不稳定，易产生振动和噪音。对于真空度较高的真空泵而言，在此區(qū)域之内运行，往往还会发生汽蚀现象，产生这种现象的明显标志(zhì)是泵内有(yǒu)噪音和振动。汽蚀会导致泵體(tǐ)、叶轮等零件的损坏，以致泵无法工作。

根据以上原则，当泵所需的真空度或气體(tǐ)压力不高时，可(kě)优先在单级泵中选取。如果真空度或排气压力较高，单级泵往往不能(néng)满足，或者，要求泵在较高真空度情况下仍有(yǒu)较大气量，即要求性能(néng)曲線(xiàn)在较高真空度时较平坦，可(kě)选用(yòng)两级泵。如果真空度要求在-710mmHg以上，可(kě)选用(yòng)水环-大气泵或水环-罗茨真空机组作為(wèi)抽真空装置。

如果只作真空泵用(yòng)，则选用(yòng)单作用(yòng)泵比较好。因為(wèi)单作用(yòng)泵的构造简单，容易制造和维护，且在高真空情况下抗汽蚀性好。

如果仅作较大气量的压缩机使用(yòng)，则选用(yòng)双作用(yòng)的泵比较合适。因為(wèi)双作用(yòng)泵的气量大，體(tǐ)积小(xiǎo)，重量轻，径向力能(néng)得到自动平衡，轴不容易产生疲劳断裂，泵的使用(yòng)寿命较長(cháng)。

二、根据系统所需的气量选择真空泵

初步选定了泵的类型之后，对于真空泵，还要根据系统所需的气量来选用(yòng)泵的型号。